干式螺杆泵与油润滑螺杆泵的差别

如图一所示，油润滑式螺杆泵的转子腔充满了真空泵油，起润滑，密封和冷却的作用。此类型的螺杆泵的抽气效率较高（某知名品牌的气量能达到400 – 5004m³/hr），但极限真空相对较低仅达到0.33mbar。由于泵腔内部有油润滑，该类型无法提供完全洁净的真空。所以，油润滑式螺杆泵常被用来抽对真空环境无严格要求的粗真空，如电子工业，木工，塑料生产，印刷与造纸等行业。但不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性，对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。

(图一 油润滑螺杆泵原理）

干式螺杆泵

如图二所示，EVP干式螺杆泵的转子腔内，完全无任何液体溶剂，因此此款泵的最大特点就是能获得无任何污染的洁净真空。该泵可用来抽除易燃易爆性气体，含大量水蒸气或粉尘的气体，应用范围十分广泛。此外，相比油润滑式螺杆泵，干式螺杆泵能获得更高真空，极限真空可达到0.02/0.01mbar.

（图二 EVP干式螺杆泵结构图）

其中，干式螺杆泵又分为等螺距和变螺距。变螺距是基于等螺距的一种技术更新，使螺杆泵运行时的性能达到最理想的状态.以下是EVP变距螺杆泵的优缺点:

1) 泵体温升低

气体在压缩和输送过程中会产生高压和高温，变距螺杆泵的进气腔比随后的送气腔和排气腔空间都大（参考图四），这种结构降低了气体在压缩时产生的热量，同时该结构降低了高温气体反流滤，只能停留在排气端。而排气端接入冷却液直接冷却转子和排气口温度，所以整个泵在运行过程中都能保持较低温度，从而保证舒适的工作环境。

2）噪音低

同上，由于变距螺杆的送气腔和排气腔空间小于进气腔，到达送气腔的气体无法返流到进气腔，因此转子腔体内不会产生异常噪音。

3）功耗低

由于排气腔小于前两级腔体，螺杆泵排出气体所需的动能小，同比等螺距变螺距能耗降低了30%。如，在EVP LG70的气量为70L/s，等螺距螺杆泵需要7.5Kw，而变螺距螺杆泵仅需5.5Kw。

4) 不适合抽易固化和液化的气体

变距螺杆泵的设计由于产生内部压缩容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

而等螺距螺杆式设计中，气体通路最短最简单。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高，但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。

除提供单台螺杆泵外，EVP能根据用户需求提供螺杆真空泵系统等。下图是EVP近期的出货图片，仅供参考。如有需要，欢迎与我司联系，我们将竭诚为您服务！

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编辑人：胡羽（上海坎特真空科技有限公司）