典型真空系统

低真空系统

低真空系统指极限压强高于10-1 Pa ~ 10-5 Pa 的系统，如高真空系统的前级、白炽灯排气装置、热水瓶胆排气装置、真空储物柜等。这种系统一般用旋片式机械泵抽气，真空度测量用低真空计。

高真空系统

高真空系统的极限真空度在10-3 Pa ~ 10-5 Pa之间，用高真空泵和低真空泵串联抽气。一般的高真空系统中，高真泵多采用油扩散泵、涡轮分子泵，低真空泵采用旋片式机械泵，高真空计采用电离真空计，低真空计采用热传导真空计。

下图所示为结构最简单的玻璃扩散泵高真空系统，系统中机械泵与三通玻璃阀门之间用真空橡胶管连接，以避免机械泵工作时产生的机械振动传递到扩散泵及系统的玻璃管道上。当抽真空时，三通玻璃阀门转到连通扩散泵与机械泵的位置。当停机时，扩散泵停止加热后，必须等到扩散泵基本冷却后才能关机械泵，而且关机械泵时要把三通阀转到机械泵与大气连通的位置，关断扩散泵与机械泵的气路连通，并对机械泵内放大气，防止机械泵返油到扩散泵及高真空部件中。玻璃高真空系统的抽速比较小，适于科学研究、小型电真空器件的制备等场合使用。

链接：真空系统，旋片泵，扩散泵，分子泵

编辑：秦立香 （上海坎特真空科技有限公司）