罗茨泵机组的极限真空
罗茨泵,又称为增压泵,其主要作用是提高真空度。单个罗茨泵的极限压力可达到5*10-2Pa。适用工作压力范围在103~10-1Pa。
但传统罗茨泵无法单独工作,必须配套机械泵(又名前级泵)使用。 在搭配不同的前级泵时,罗茨泵机组达到的极限真空度不同。因此,在选择配套机械泵时,除了考虑工作环境的要求外,还需考虑工作真空。下表为罗茨常见机械泵配套使用能达到极限压力,仅供参考:
实例说明: 阿根廷某镀膜机用户,现场有卧式镀膜腔体:Ø 1.20 m *1,20 m,罗茨机组在2分钟内达到3~4torr (即300~400Pa)。 我司提供ZJP1200罗茨+H150单级滑阀泵机组一套,机组总功率<18.5Kw(被替换的机组总功率达到26Kw)。出厂前测试罗茨泵启动30秒内达到2.5*10-1Pa,优于客户要求。 设备在客户仓库图片供参考:
编辑人:胡羽(上海坎特真空科技有限公司)
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