PVD镀膜机配套的真空系统

1.下图是4台2X-70A前级泵，2台2X-15A做维持泵， 2台ZJP-1200为二级泵， 2台KT630为主泵， 一起组成的真空系统。这个系统里面选配了2台2X-15A做维持泵，当整个系统达到工作真空以后， 可以启动维持泵， 关闭前级泵， 以节能减排。国内目前比较流行这种配置。

2.下面这套真空系统是用2台H-150滑阀泵做前级泵， 2台ZJP1200做二级泵， 2台KT-630油扩散泵作为主泵。这套系统和第一套系统最大的不同是用滑阀泵做前级泵， 节省了安装空间，而且没有配置维持泵， 节省成本。 目前这种配置在国外比较流行，尤其是H-150卧式滑阀泵， 在真空镀膜方面使用的很多。

当然， 不同的客户有不同的需求，真空系统的配置也不一样，还是建议大家多找一些像EVP这样专业的厂家咨询。

链接：扩散泵

编辑：申孟南（上海坎特真空科技有限公司）