扩散泵机组操作程序

2、接通机组配置的各类真空泵和水冷挡板的冷却水。

3、装好高阀上盖板测量点电离和热偶规管、水冷挡板侧口测量点的电离规管及前级管路上测量点的热偶规管。接好真空计电源，开始测量时接好规管与真空计连接的测量线。

4、机组所有阀门在断电的情况下处于关闭状态。

5、扩散泵加热前观察油量是否到位，泵在运行中一定要观察油量，避免泵烧干锅。

6、带维持泵的机组，先开维持泵，在开泵之前，打开维持泵系统的角阀，开动维持泵抽扩散泵，当扩散泵内真空度达到5Pa时扩散泵开始加热，维持泵开始工作时，就可以打开预抽阀，开动前级泵，当预抽系统真空度达到500Pa时，启动罗茨泵，当预抽系统真空度达到0.5Pa,扩散泵加热时间达到，320以下泵40分钟；500～630泵60分钟；800、900泵70分钟；1000～1600泵90分钟时，打开前级阀，关闭预抽阀，关闭维持泵系统角阀、关维持泵，打开高阀机组开始工作。

7、不带维持泵的机组，打开前级阀和预抽阀，开动前级泵，当真空度达到500Pa时启动罗茨泵，当前级真空（扩散泵真空度）达到5Pa时，扩散泵开始加热，扩散泵加热时间达到（6）款规定的， 对扩散泵加热时间要求时，预抽系统真空度达到5×10–1Pa (0.5Pa)时，关闭预抽阀，打开高阀机组开始工作。

8、不配罗茨泵和不带维持泵的机组，打开前级阀和预抽阀，开动前级泵，当整体真空系统达到5Pa时，扩散泵开始加热，扩散泵加热时间，达到（6）款规定的，对扩散泵加热时间要求时，预抽真空系统达到5×10–1Pa (0.5Pa)时，关闭预抽阀，打开高阀机组开始工作。

9、关闭机组程序：

①带维持泵和罗茨泵的机组，首先关扩散泵加热电源，关闭高阀，关罗茨泵，前级泵照常运行，启动维持泵系统，当维持泵系统达到正常工作状态，关闭前级阀，关前级泵，维持泵系统在运行，当扩散泵温度降到50℃以下时，关维持泵系统，所有阀门都在关闭状态。冷却水可以继续冷却一段时间再停。

②不带维持泵和罗茨泵的机组，首先关扩散泵加热电源，关闭高阀，前级泵系统照常运行，当扩散泵温度降到50℃时，关前级泵真空系统，所有阀门都在关闭状态，冷却水可以继续冷却一段时间再停。

特别提示：关扩散泵加热电源后，扩散泵和正在运行的前级泵或维持泵冷却水不能停。

编辑：傅燕俊/上海坎特真空科技有限公司

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