真空度诊断方法

目前，上海坎特真空科技有限公司采用真空度故障排除法来进行检测，步骤如下：

1. 确定真空度测量仪器仪表的准确性；

2. 确保系统的阀门无泄漏；

3. 若故障为现象一的表现形式，则需对整个系统进行外泄露的检查;

4. 若故障为现象二的表现形式，首先检查蒸汽、水等能源介质的各项参数值是否有异常，如无异常，检查各逆止阀，如无异常，作系统性能实验，确定哪一级泵的性能有问题，检查该泵的喷嘴和蒸汽阀门。

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编辑：秦立香 （上海坎特真空科技有限公司）