扩散泵系统应用在真空镀膜机玻璃镀膜

扩散泵作为镀膜真空系统的主泵已经有几十年的历史了。

EVP在所有镀膜应用整体解决方案的上处于领导地位。我们的工程师非常了解技术要求，可以大力支持您的业务。实现标准组件最优化，最紧凑的设计、最高的技术标准。

凭借长期的经验我们为镀膜机设备提供最优化的真空解决方案。EVP真空系统产品油式旋片泵，滑阀泵，罗茨泵，和扩散泵泵都能满足镀膜行业的应用。

我们可以通过机械泵和油扩散泵的配合使用达到高真空条件。但扩散泵不能在大气下运行,因此在扩散泵能够工作之前,必须先用机械泵通过低真空阀门分别将腔体内和扩散泵中的大部分气体抽到大气中。扩散泵需要预热,待真空度合适后,将低真空阀放在抽扩散泵一侧， 然后慢慢打开高真空阀门。扩散泵和机械泵的组合可使腔体内的压强降到大约7X10-4Pa.

在操作系统之前，先打开前级泵的角阀，然后前级泵将开始抽扩散泵。当扩散泵中的真空压力达到5pa时，开始加热。当前级泵开始工作时，请打开预抽阀，启动机械泵。预抽系统达到500Pa后，启动罗茨泵。当压力达到0.5pa，扩散泵加热时间足够时（KT320以下:40分钟，KT500~KT603: 60分钟，KT800~KT900:70分钟，KT1000~KT1600: 90分钟），打开前级阀门，关闭预抽泵和角阀，关闭前级泵，打开高阀，让整个机组工作。

扩散泵在安装前要清洗，之后才可以装入扩散油，油在加热前，必须要先对泵抽真空，停机前要先将扩散泵油冷却到60～70摄氏度，才可以关闭前级抽气，最后关冷却水。

特别说明：在关闭扩散泵的加热功率后，不能立即停止扩散泵，预泵和工艺泵中的冷却水。

编辑人员：Annie Hou; 版权所属：上海坎特真空科技有限公司

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