真空泵在真空镀膜业中的应用

关于真空镀膜设备
镀膜在一个由金属、塑料或者玻璃沉积真空形式下完成，这个过程中，真空起着决定性的作用。大多数情况下，镀膜过程几乎不能在非真空的环境下完成。在镀膜开始前需要提供一个中真空甚至高真空的环境，此后再提取反应气体或蒸发原材料。
以上过程都通过真空镀膜机来实现，真空镀膜机一般可分为以下四个部分：
1.真空室——真空主体
真空室由具有防锈和稳固功能的不锈钢铸造而成。它的每一个零件都通过联合阀来连接
2.真空系统——辅助排气系统
此系统对真空镀膜设备至关重要，主要包括机械泵、增压泵（罗茨真空泵）和油扩散泵
机械泵也称为预真空泵，如：活塞真空泵，旋片式真空泵，往复真空泵等。机械泵的工作原理是通过保持机械密封以改变腔体容量，这会使容器内气体持续扩散从而提高真空度。
增压泵也称为罗茨泵，由于其工作原理与罗茨鼓风机相似，因此它也被称为罗茨真空泵。该泵不能单独使用，它必须在类似机械泵一样的机组中有前级泵的前提下才能工作。
对于高真空应用，我们提供涡轮分子真空泵和油扩散真空泵，它们在有前级泵的组合情况下可以精确地适应涂覆工艺。
油扩散泵抽速很快，工作压力可达10^-2到10^-5帕，操作方便，使用寿命长。
3.真空镀膜系统——蒸发系统
蒸发系统主要是指成膜装置，如：电阻加热，电子枪蒸发，射频溅射，离子镀等。
我们EVP真空技术可广泛应用于于以下镀膜步骤：
蒸发真空镀膜
真空溅射镀膜
物理气相沉积（PVD）
化学气相沉积（CVD）
高能等离子体沉积真空镀膜
金属化真空镀膜
4.控制系统
控制系统包括三个部分：控制柜，变压器和控制台。
所有过程都有一个共同要求：泵体内有一个完全可靠的中真空或高真空环境以满足镀膜需求。执行镀膜操作时，需要改变材料的表面特性，如硬度和耐腐蚀性。真空镀膜也可以用于提高材料的粘合、润湿性质，或使表面永久疏水或亲水。
我们的真空系统被广泛用于所有基于真空镀膜的步骤中。